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光学数码显微镜DSX1000

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光学数码显微镜DSX1000

奥林巴斯领先的光学技术和数字技术的独特融合,孕育出了新型光学数码显微镜DSX,DSX光学数码显微镜拥有无与伦比的直观操作和毫不动摇的可靠性,为全体用户带来了全新的显微世界。

DSX 系列数码显微镜将我们卓越的光学技术与先进的数字技术融为一体。DSX1000 数码显微镜用于观察和测量各种样品,包括电子元件和金属材料。此显微镜使用简单,只要放上样品,就可以轻松地完成 3D 观察、测量、报告自动生成等一系列操作。




  • 放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台。

  • 可迅速切换物镜和六种观察方式。

  • 远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确度。




放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台

DSX1000 数码显微镜新增了 5 个物镜,物镜总数达到 15 个。20-7,000X 的放大倍率范围实现了精确观察,而长工作距离物镜则实现了对不规则样品的观察,例如电路板和机加工零件。显微镜头部和载物台都可以旋转± 90°,更易于观察和分析薄样品,如晶圆,或大型样品,如汽车部件。 

可调节的头部和载物台

显微镜头部和载物台可以分别旋转






使用高分辨率长工作距离的物镜

长工作距离使用户能够观察不规则形状的电子基板。 

207,000X 放大倍率下的晶圆图像对比

可迅速切换物镜和六种观察方式

显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能,可实现六种观察方法和对比度增强功能:明场、暗场、MIX、偏光、简易偏振和微分干涉。偏光观察和对比度增强功能可以突出样品表面的不规则和轮廓形貌。例如,此功能可用于在观察晶圆表面较大的不规则形状与细微破损和划痕之间快速切换。从而用户可以观察到使用其他方法难以检测到的对象。

太阳能电池图像对比

(左图:明场观察,右图:偏光观察)

单侧光线照射突出了表面的不规则形状。该项技术适用于观察不规则形状、扭曲的样品和槽口。

集成电路 (IC) 芯片图像对比

(左图:常规;右图:带对比度增强功能)

色彩清晰明亮的图像替代了明暗图像。


远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量精确性。*


汽车制造商、精密设备和其他产品制造商必须精确测量和分析产品的规格,以证明产品的安全性。DSX1000 数码显微镜使用远心光学系统,在整个放大范围内图像失真极低,实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。为了确保准确度,在完成 DSX1000 显微镜的安装后,奥林巴斯的技术人员将根据客户使用环境对每台显微镜进行校准。 

远心光学系统和非远心光学系统的图像采集对比图

改变聚焦位置不会改变图像大小。



     您只需要一台 DSX1000 显微镜就可满足各种观察和分析需要,改善检验的工作流程。镜头数量增加至 15 个,涵盖20-7,000X的放大倍率。用户还可以利用该显微镜的六种观察方法,对各种样品进行观察与测量。比如突出显示样品表面的不规则和轮廓形貌。显微镜头部和载物台可以分别进行± 90°的自由角度调节,从而满足对各种复杂外形样品的任意角度观察。另外,新开发的算法可以实现更快的 3D 图像采集,与奥林巴斯传统数码显微镜相比,速度快了近十倍。最后,我们将根据每位用户的工作环境校准显微镜,以帮助用户实现精确、高效的观察和测量。


舒适的操作性能,传统显微镜无法比拟。

DSX系列并非操作显微镜本身, 而是通过直观、易懂的GUI 画面菜单进行操作。可根据用户熟练程度选择操作模式, 并通过触摸屏、鼠标、操纵杆等的全新操作方式, 实现了舒适的操作性能。无论是具备显微镜方面的知识和技能的操作人员, 还是对显微镜不熟悉的操作人员, 都能直观的完成操作。

用于不同熟练度和用途的3个操作模式

在DSX系列上,根据用户的熟练程度,优化设计了2个GUI的操作模式:"标准模式"和"初级模式"。同时,还配置了可以自定义标准模式,专门用于常规工作的"操作员模式"。此外,根据启动应用程序时输入的ID和密码,可以调出各用户设置的观察、分析和测量条件等环境,显示该用户的常用画面。

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初级模式

只要按照画面的提示步骤操作,就能得到最佳输出的模式。

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标准模式

为了使显微镜的熟练操作人员能够直观完成操作,按照工作流程配置了必要按钮等的模式。运用电动控制提高了操作速度。

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操作员模式

自定义标准模式用于常规工作的模式。可以提高重复性工作的效率。

"宏观地图" ,不再遗漏观察位置

无论是提高放大倍率缩小视场范围,还是改变观察方法进行暗视场观察,都不再会遗漏观察位置。观察过程中的位置始终以明视场影像显示在"宏观地图"上,正在观察的部分一目了然。也可以将"全景功能"拼接的影像显示在"宏观地图"上。

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"光学变焦",仅需一个镜头即可实现最佳尺寸的观察

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细腻的倍率调节可以随心所欲、毫无压力的完成。采用无缝放大和缩小,改变倍率时不会发生视场遗漏而错过观察位置。DSX510系列以13倍光学变焦搭配最高30倍数码变焦,实现了高倍观察。仅需一个物镜几乎就可以覆盖传统金相显微镜的倍率范围。可安装两个物镜,相互组合能覆盖更宽的倍率范围。此外,相同倍率下切换物镜,也不会改变视场尺寸。不仅如此,即使是有凹凸的样品,利用专门设计的高NA长工作距离镜头,便可以完成检查和测量而无需担心发生碰撞。

"HDR"打造超越目视观察的"清晰影像"

如果仅以加强灯光来处理"暗处泛黑(黑斑)"问题,反而会引起"亮处泛白(飞白)"的新问题。DSX系列的"HDR"(高动态范围)功能,利用变换曝光拍摄的多张图片进行合成,解决了该课题。不但表面微细凹凸得到强调,同时还能消除光晕,获得真实反映样品表面的影像,因而轻松捕捉到以前难以分辨的缺陷。

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无论是暗视场影像还是DIC影像,"HDR"都可以一键完成清晰观察。
 
利用"WiDER"实时观察具有亮度差的样品

"WiDER"可以解决实时影像中"黑斑"与"飞白"问题。通过大幅扩展动态范围的独有的逻辑运算,只需一键单击,就可以消除样品表面亮度差,同时消除光晕,实现了以往难以实现的对明亮部分及黑暗部分的同步观察。DSX510系列采用了全新的智能图像处理技术,不降低帧速率,是实时观察的最佳选择。

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只需一键单击,就可以清晰的实时观察有亮度差的样品
 

单击切换"多种观察法"

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为了能够提供适合观察目的的最佳观察法,DSX510上配置了工业检查中所必需的所有主要观察法,不需要传统显微镜上的复杂设置和调节。单击一下就可以切换观察法,所以显微镜的初级操作人员也能够快速得到所需的影像。

可通过简单的操作运用各种观察法。能快速获取所需的高分辨率影像。

DSX1000系列支持工业检查中不可或缺的主要观察法,并在此基础上搭载了MIX(BF+DF),实现了轻松检测细微瑕疵、缺陷的功能。先进的光学系统为用户提供作为检查、测量的根本的高质量影像。除此以外,使用"多图预览"功能,可以在观察各种观察法拍摄的影像一览的同时选择最佳图像,让观察法的选择也变得简单。

BF
明视场
明视场观察。光学显微镜中较普通的观察法。

DF
暗视场
暗视场观察。斜向照射光线,强调伤痕等。缺陷检查能力优秀的观察法。

DIC
微分干涉
微分干涉观察。适用于凹凸不平的检查对象。
 

PO
偏振光
简易偏振光观察。可以观察包有透明保护膜的铜线等。

MIX
MIX
同时进行明视场观察(BF)和暗视场观察(DF)。是综合了明视场的易观察性和暗视场的检测能力的观察法。



利用"报告功能" ,迅速生成报告

使用DSX系列,可以在一个应用程序上执行从观察到测量、报告生成的一系列操作。因此,只需在观察、测量完成后,单击一下按钮即可生成报告。提前制作模板,即可简单、快速生成繁琐的报告。报告书可以输出为RTF格式、PDF格式。

利用
 

"彩色高亮显示功能" ,强调目标内容

DSX系列搭载了"彩色高亮显示功能",可以彩色显示样品的观察所需部分,其他部分则以单色显示。能够拍摄更加明确的观察对象,生成报告时可以使用更加轮廓鲜明的图像。同时,还可以预先登记需要检测的缺陷及杂质,提高检查效率。

Inspection is easier when you can highlight possible defects or contamination for inspection
             预先登记需要检测的缺陷及杂质,让检查变得更容易
 

能够观察到一般数码显微镜上无法看到的"影像"。

DSX系列的高度可靠性,源自于领先的光学产品制造商奥林巴斯的DNA。像差少、分辨率出色的镜头及高度光学组装技术,实现了清晰、低失真兼具优越色彩重现性的高质量影像。而为了提高画质,对CCD及显卡也进行了最佳调整。极为忠实的再现实际样品,实现了不同次元的"可视性"。
 

奥林巴斯独有的"高质量光学系统"实现了不同次元的"影像"

    凝聚了奥林巴斯DNA的光学系统

奥林巴斯在DSX系列产品的设计和制造中,不遗余力的投入了自己作为光学产品制造商长年积累的优秀技术和经验。使至今为止数码显微镜无法实现的照明均匀、没有光斑、鲜明、高质量的影像观察成为现实。DSX500向您提供只有继承了"奥林巴斯DNA"的光学系统才能拍出的不同次元的"影像"。

 

"专用物镜"轻松实现高分辨率观察

DSX1000新规格专用物镜

为DSX1000新设计的专用物镜,兼具高NA和长工作距离的优点。只要调高焦距倍率就可以自动拍到高分辨率影像,所以即使是凹凸较大的样品,也可以安心完成高清晰观察。此外,还可以使用传统的有着优异分辨率和对比度的UIS2物镜。

 

1800万像素的"高性能、高灵敏度CCD**",再现最高质量影像

High performance 3CCDs
     高性能、高灵敏度CCD模式

为真实再现高质量光学系统所获取的信息,采用了色彩再现性能优越的高性能、高灵敏度CCD模式作为处理引擎。同时搭载了实现高分辨率的像素转换功能、尖端数字影像处理功能--"细节处理",实时显示每一部分都清晰鲜活的影像。
**4800×3600像素,3CCD模式换算下相当于其3倍

 

"LED光源"同时实现准确观察与节能

确保正确观察的同时,作为节能与低运转成本兼容的新一代显微镜,采用了即使改变光量色温也不变化的LED光源。使用寿命长,可节约维护开销。
 

超越数码显微镜的高度测量可靠性。

DSX1000的远心光学系统及低重心机架等设计,随处可见奥林巴斯对测量精度的坚持,实现了远远超越数码显微镜的高度测量可靠性。而且,保证了测量值的真值近似率(正确性)及多次测量值的偏差率(重复性),帮助客户进行正确测量。
 

双重保证测量精度

DSX1000确保了2个测量精度指标--XY方向倍率的"正确性"和多次测量偏差较小的"重复性"。从物镜产品开始,根据可追塑性进行精度保证,因此可以发行校准证书及溯源系统图等证件。
※需要本公司服务人员进行校准作业。



可以执行2D、3D多种测量

DSX1000标准装备了2D、3D测量所需的各种项目。不只是在XY平面内,还可进行Z方向测量,因此可从所有角度进行观察、测量。另外还能使用同一应用程序将测量结果生成报告。

平面测量自动测量圆和矩形
屏幕上的几何形状和角度可以自动测量,主要测量项目包括两点间距、平行线宽度、圆心距、3点定义角度及3点定义圆等。

平面测量
 

卡尺测量(选购件)测量矩形和圆
在图象上指定矩形或圆,可以自动进行卡尺测量。

卡尺测量(选购件)
 

粒子分析(选购件)自动分析图象中粒子形状
对图象进行二值化处理,从图象中提取的区域可以自动进行测量,通过阈值设定可以剔除小粒子、大粒子或凹坑填充。

粒子分析(选购件)
 

3D剖面测量自动测量截面面积和曲率等
在屏幕上指定测量项目,如长度、线宽、截面积、弧度及相交角度等,就可以自动进行测量。

粒子分析(选购件)
 

高度测量简单操作就可以测量高度
高度方向的距离可以通过指定图象上的测量点进行测量。也可以使用高度直方图进行测量。
*高度测量仅针对三维图象。

高度测量
 

面积/体积测量表面积也可以自动测量
三维图象中可以自动测量指定区域的面积、体积和表面积。直方图或剖面上可以指定测量的阈值。

面积/体积测量
 

 

"低重心、厚重机架设计"及"振动修正功能",提供稳定的观察、测量环境

为了能够实现稳定的高倍观察,DSX系列采用了低重心和厚重机架设计。搭载"振动修正功能",可对来自外部环境的振动影响进行修正。即使在进行高倍率观察、使用景深扩展功能或拍摄3D影像等情况下,也能得到毫不模糊的清晰影像。


              无修正                 有修正

 
远心照明实现高精度测量

DSX系列采用远心光学系统,不会像数码显微镜一样出现因对焦位置改变而影像大小也随之变化的现象。交货时,会由专业人员在客户的安装环境下,对所有显微镜的功能进行确认。
 

与OLYMPUS Stream并用,能够对应高精度分析

晶粒度分析等金属组织评价分析,可以在影像分析软件OLYMPUS Stream上完成。
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